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支撐4吋& 6吋晶圓

切割軸速度高達1000mm/s，高速流動動搖性<1%

攜帶FDC焦點深度控制零碎，實時調劑切割深度，可順應±15μm片厚誤差

集成卡裌凹凸料，主動水平校正、主動調焦、主動脩改及生産信息統計等

無需化學措置，非接觸式切割，不發生發火殘渣、崩邊，熱影響區小

人性化交互界麪，易操作易培訓

支撐南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司主流8吋晶圓片

切割軸速度高達1500mm/s，高速流動南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司動搖性<1%

集成卡裌凹凸南京大世纪艺术模型有限公司料，主動水平校正、主動調焦、主動脩改及生産信息統計等

帶FDC焦點南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司深度控制零碎，實時調劑切割深度，可順應±15μm片厚誤差

非接觸式切割，不發生發火南京大世纪艺术模型有限公司殘渣、崩邊，熱影響區小

人性南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司化交互界麪，易操作易培訓

支撐4/6寸LED晶圓片

切割速度高達1000mm/s，高速流動動搖性<1%

集成卡裌凹凸料，主動水平校正、主動調焦、主動脩改及生産信息統計等

攜帶FDC焦點深度控制零碎，實時調劑切割位置，可順應±15μm片厚誤差

利用無邪，可憑據材料的分歧厚度，選配多光點切割技術

人性化交互界麪，易操作易培訓

支撐8/12寸帶有LOW-K膜層的晶圓産品

切割速度高達1000mm/s，高速流動動搖性<1%

集成卡裌凹凸料，主動凃覆、水平校正、主動脩改、主動清洗及生産信息統計等

基於新一代機械視覺技術平台 InteVega，圖像處理精準定位切確

非接觸式切割，熱影響區小；採取雙細光＋雙寬光激光切割體式格侷，開槽可調規模：20~80μm

人性化交互界麪，易操作易培訓