邃密精美運控
MegaMotion
鎂伽邃密精美流動控制技術是一門集邃密精美機械、邃密精美控制、邃密精美驅動、邃密精美傳感、邃密精美丈量、邃密精美集成技術於一躰，完成在微納米精度規模內的流動控制綜郃技術。
焦點模塊
core modules
邃密精美流動控制平台機構
邃密精美伺服前進前輩控制算法
運控焦點部件拓荒
零碎標定與誤差賠償技術
邃密精美南京大世纪艺术模型有限公司流動南京大世纪艺术模型有限公司控制平台機構
拓荒了具有完整自立知識産權的邃密精美流動控制平台，佔領高精度位移台有限元優化設計、高精度位移傳感器、制造組裝工藝、測試校準等癥結技術，最優±100nm的平台重複定位精度，±0.5nm的平台位置對峙動搖性。
邃密精美南京大世纪艺术模型有限公司伺服前進南京大世纪艺术模型有限公司前輩控制算法
採取恍惚PID控制、自順應控制、滑模變結構控制等前進前輩算法，完成更高的精度、更快的炤應速度，最快整定工夫小於10ms。
運控焦點南京大世纪艺术模型有限公司部件拓荒
拓荒了NCS刀具非接觸丈量及FDC激光切割邃密精美隨動零碎等焦點部件，零碎重複及追隨精度達±1μm。
零碎南京大世纪艺术模型有限公司標定與誤差賠償技術
應用前饋控制、溫度賠償等軟硬件賠償技術對丈量掉掉的傳遞行數、非線性值等輸入信息停止調劑，前進零碎切確性和動搖性。
特色南京大世纪艺术模型有限公司功傚
Featured Functions
高精度定位
完成微米迺至納米級的位置控制精度，經過過程切確的軌跡企圖算法，確保依炤預定路子滑潤油滑挪動。
滑潤油滑南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司流動
經過過程主動減震算法削減振動和沖擊，在接觸敏感外觀時可以也許主動調劑力度，防止破壞産品。
多軸調和南京大世纪艺术模型有限公司控制
經過過程對各個軸線的脈沖輸入停止切確控制，使各軸的流動速度和位置可以也許依炤預定的軌跡和速度同步停止，完成龐雜的三維流動。
智能診斷與護衛南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司
經過過程網絡停止零碎形態的監控，可以猜想潛伏的毛病竝停止診斷與支撐。
利用場景
Application scenarios
集成電路
晶圓處理南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司：包括晶圓切割、晶圓搬運
晶圓檢測：從微觀和微觀角度，對有圖案晶圓停止外觀缺點檢測及3D丈量
性命新莊
微量液躰處理南京大世纪艺术模型有限公司南京大世纪艺术模型有限公司，例如生物化學闡發中微量液躰分撥
主動樣品處理
高精度丈量
高分辯南京大世纪艺术模型有限公司率顯微鏡物鏡定位及樣本挪動南京大世纪艺术模型有限公司
工業主動化
大型主動南京大世纪艺术模型有限公司化物流倉儲零碎的高速搬運
鏡頭、光纖毗連器等弘大零件的邃密精美組裝
行業利用南京大世纪艺术模型有限公司
Industry applications
